簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Kuei-Yi Lee".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="RHEED"


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    低溫矽膜濺鍍磊晶技術之開發
    • 電子工程系 /95/ 碩士
    • 研究生： 黃祥恩   指導教授： 葉文昌
    • 本研究在濺鍍壓力為5 mTorr及載台溫度為250℃的條件下成功開發出矽膜濺鍍磊晶技術，其所需真空度為1.0×10-6 Torr。另外在檢測磊晶矽膜的品質部份，本研究以Raman、RHEED系統量測…
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